光學(xué)級(jí)鈦靶材是高端鍍膜的核心材料,其性能直接影響光學(xué)系統(tǒng)的能量損耗(每0.1%雜質(zhì)增加約2%的散射損失)。在半導(dǎo)體和顯示領(lǐng)域靶材趨向大尺寸化(如G10.5代線(xiàn)需4m長(zhǎng)靶)的背景下,光學(xué)靶材更聚焦于微觀結(jié)構(gòu)控制,需結(jié)合XRD(X射線(xiàn)衍射)進(jìn)行擇優(yōu)取向分析,確保(002)晶面占比>70%,以實(shí)現(xiàn)最優(yōu)膜層生長(zhǎng)...
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